X射線熒光光譜儀是根據X射線熒光光譜分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量，具有靈敏度高、精密度好、性能穩定、分析速度快等特點，是一種中型、經濟、高性能的波長色散X射線光譜儀。
X射線熒光光譜儀由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
X射線熒光光譜儀特點：
（1）熒光分析的主要特點是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數量級。分光光度法通常在 10-7 級，而熒光的靈敏度達10-9。
（2）強選擇性強，熒光物質具有兩種特征光譜：激發光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據激發光譜和發射光譜來鑒定物質。
（3）信息量豐富，能提供熒光物質的多種參數。
（4）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質本身不發熒光；②熒光的產生與化合物結構的關系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。
X射線熒光光譜儀開機的操作步驟：
1、開啟斷電保護開關，同時檢查有無異常現象，如有跳閘情況出現，應查明原因；
2、開啟穩壓電源開關，如是UPS，則后面的旁路開關必須處于關閉狀態；
3、開啟儀器主機電源開關，主機就緒后開啟計算機，打開儀器附件，連接就緒后運行儀器工作站，檢查儀器連接有無異常，檢查儀器真空度。
4、順時針90°擰動主機前的鑰匙開啟高壓開關，檢查X光管冷卻水流量、液氮的液位以及溫度，正常后開啟探測器高壓。
5、儀器穩定后對儀器進行校正，了解儀器的運行狀況。
